新型のPura Plusは、ウェハ産業の設備寸法や指標に対する最新の需要変化に対応したミセル計器を特別に設計した。Pura Plusは、半導体工場内の生産ラインに通じるガス供給の最端に多重接続され、超純不活性ガスの使用を監視するためのオンライン微量湿度異動トランスミッタである。工場内のガスシステムの分布は複雑で、多くの分岐、ノード、使用点に関連している。そのため、通常の湿度監視点の後、微量の漏れ、非効率なシステム設計、素子故障やプロセスミスなどの原因で湿気が浸透し、下流での使用に影響を与えることがあります。分布システムにインストールされたPura Plusは、20 ppbの湿気レベルで迅速な応答指示を提供することができます。 1 ppbの非同期の応答時間は1分未満である。 ハイライト ppbレベルの湿度変動への迅速な応答 低湿ppbレベルの感度（<1 ppb） マルチポイント測定インストールの新しい概念 メンテナンス要件が低い 信号式の状態指示 警告とアラームポイントを設定可能 Modbusネットワーク互換性 リモート制御インタフェースのマルチチャネルソフトウェア （UHP）超純ガスのライン検出
技術指標
応答速度 <1分20 ppb湿気変動1 ppbの応答時間 しつどレンジ 1 ppb から 20,000 ppm あつりょくはんい 0～10バー たいあつレベル 300 バー リークテスト 0-9 mbar l/s さぎょうりゅうりょういき 1〜10 l/min 動作温度 5〜40°C きおくおんど 30〜70°C 電源 20〜28 V DC 消費電力 5 W最大 外部ヒューズレベル 500 mAフラッシュタイプ データ出力 Modbus ASCII両線RS 485 警告とアラーム出力 2ウェイ さいだいでんあつ 40 V 直流 さいだいでんりゅう 100mA ガス接触の材質 シェルマテリアル ステンレスAISI 316 L、内面電気研磨<10 Ra センサ構造 アルミナ電解質、上層メッキ保護、下層アルミニウム層 ないぶようせき 4.4cm³ 重量 450グラム エアインタフェース 1/4'メートルのVCR 電気インタフェース 9-ピンD-タイプmコネクタ 電磁互換性 EN 50081-2とEN 50082-2